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BASF公司Exactus紅外測(cè)溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測(cè)量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(zhǎng)測(cè)量低溫的能力使得過程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好。

Photrix 紅外測(cè)溫儀，具有優(yōu)異的信噪比，測(cè)溫下限可低至75℃，上限可高達(dá)2600℃的數(shù)字式高溫計(jì)。非常適用于閉環(huán)控溫。

Photrix 外延片測(cè)溫儀，具有優(yōu)異的信噪比，測(cè)溫下限可低至75℃，上限可高達(dá)2600℃的數(shù)字式高溫計(jì)。非常適用于閉環(huán)控溫。

UV400 GaN基外延片測(cè)溫儀用于GaN基外延的晶圓表面溫度和反射率真實(shí)測(cè)量，溫度范圍650…1300℃

Sekidenko OR4000T 紅外測(cè)溫儀可實(shí)現(xiàn)兩通道多波長(zhǎng)測(cè)溫。其光學(xué)系統(tǒng)可依據(jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍(lán)寶石光管。相較于Sekidenko OR4000T增加了發(fā)射率實(shí)時(shí)測(cè)量功能。

Sekidenko OR4000E 外延片測(cè)溫儀可實(shí)現(xiàn)兩通道多波長(zhǎng)測(cè)溫。其光學(xué)系統(tǒng)可依據(jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍(lán)寶石光管。相較于Sekidenko OR4000T增加了發(fā)射率實(shí)時(shí)測(cè)量功能。

Sekidenko OR400T 外延片測(cè)溫儀可根據(jù)材料類型和所需溫度范圍配置波長(zhǎng)?？筛鶕?jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍(lán)寶石光管光學(xué)系統(tǒng)。

Sekidenko OR400M 外延片測(cè)溫儀可選波長(zhǎng)3.3或5.2μm，具有RS232數(shù)字輸出和模擬輸出接口，適用于薄膜太陽能，玻璃，半導(dǎo)體工藝溫度的精確測(cè)量。